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HITACHI MASS FLOW CONTROLLER
Der Massendurchflussregler ist eines der wichtigsten Geräte in der Halbleiterfertigung.
Hitachi hat seine Erfahrung in der Halbleiterindustrie genutzt, um hochinnovative Produkte für die PVD-Industrie zu entwickeln.
SAM®
Die Hochleistungs-Massendurchflussregler der Marke SAM führen eine Tradition fort. Hitachi verwendet eine Wellenmembran aus einer Ni-Co-Legierung (YET 101), die von Hitachi Metals entwickelt wurde und die ebenfalls beweist, dass wir ein Hersteller von hochwertigen Metallwerkstoffen sind.
Durch den Einsatz dieser hervorragenden Membran im Durchflussregelventil, der Schlüsselkomponente eines Massendurchflussreglers, erzielen sie eine einfache Ventilkonstruktion ohne Gleitflächen, die das Auftreten von Partikelverunreinigungen reduziert. Mit hoher Korrosionsbeständigkeit und stabiler Regelungsleistung sorgen sie für zufriedene Kunden.
AERA®
Für Prozess- und Anlageningenieure, die in den Bereichen Halbleiter, Flachbildschirme, Datenspeicherung, industrielle Vakuumtechnik und industrielle Beschichtung tätig sind, bietet diese Serie hohe Zuverlässigkeit und überlegene Leistung für Anwendungen mit nicht korrosiven Gasen, darunter CVD, PVD, Ätzen, Ionenimplantation, Sputtern, thermische Oxidation, optische Glasbeschichtung, Glasfaser, Oberflächenbehandlung und andere Beschichtungsprozesse.
Niedrige Kosten
Die FC-R7700-Serie wurde speziell für Anwendungen entwickelt, die höchste Leistung, aber keine Korrosionsbeständigkeit oder hohe Dichtheit von Metalldichtungen erfordern. Sie ist kostengünstig, geräuscharm und verbraucht wenig Strom.
Einfache Integration
Diese Modelle verfügen über standardmäßige elektrische Anschlüsse und kritische Abmessungen, sodass sie problemlos in bestehende Systeme integriert werden können und im Vergleich zu digitalen Modellen geräuschärmer sind und weniger Strom verbrauchen.
Schnelle Reaktion
Fortschritte im technischen Design der FC-R7700-Serie haben zu einer verbesserten Leistung im Vergleich zu konkurrierenden Massendurchflussreglern (MFC) geführt. Zu diesen Fortschritten gehört ein hochempfindlicher, schnell reagierender Sensor mit kleinem Durchmesser. Mit normalerweise offenen und normalerweise geschlossenen Magnetventilen bietet die FC-R7700-Serie Flexibilität für viele Anwendungsbereiche und eine Einschwingzeit von ≤ 2 Sekunden zwischen den Sollwerten. (≤ 3 Sek. für FC-R7720CD/FC-R7720D)
Unübertroffene Zuverlässigkeit
Die Verwendung einer geringeren Anzahl elektrischer Bauteile als beim digitalen Modell und der Verzicht auf einen DC-DC-Wandler sorgen für eine hohe Zuverlässigkeit über einen langen Zeitraum.
FLOW MANAGEMENT: BESSERE TECHNOLOGIE FÜR BESSERE ERGEBNISSE
Verbesserung der Funktionalität von PVD-Produktionsanlagen in verschiedenen Marktsegmenten, wie Flachbildschirmen, Datenspeicherprodukten, Glasbeschichtungen, Solarzellen, dekorativen Beschichtungen und anderen fortschrittlichen Produktanwendungen
KUNDENVORTEILE
Reduktion der Ausfallzeiten der Werkzeuge
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Sehr zuverlässiges Produkt
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Multigas-/Multibereichsfähig,
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über PC am Gerät programmierbar
Höchste Leistung
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Ultraschnelle Reaktion
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Großer Durchflussregelungsbereich
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Hohe Genauigkeit
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Hohe Absperrleistung des Ventils
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Selbstdiagnose
Erhältlich mit mehreren E/A-Optionen
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nalog 0…5 V, 4…20 mA
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Digital RS485, Devicenet, EtherCat,
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Mit PB-Adapter auch für frühere Profibus-Tools geeignet
Serviceleistungen
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Vor-Ort-Service
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Fehlerbehebung
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Reparatur, Neukalibrierung, Bereichsänderung innerhalb einer Woche (bei Ausfall des Geräts 24 Stunden)