Prozesskontrolle in der PVD-Beschichtung – Stabilität durch Speedflo und Optix

Warum Prozesskontrolle entscheidend ist

In der Plasma- und Vakuumtechnik entscheidet die präzise Steuerung von Prozessen über Qualität, Effizienz und Wettbewerbsfähigkeit. Besonders beim reaktiven Sputtern treten Instabilitäten auf, wenn die Gasflussrate in den Bereich stöchiometrischer Schichtzusammensetzungen liegt..

Ohne geeignete Regelung können selbst bei identischen Parametern unterschiedliche Ergebnisse auftreten – etwa beim Partialdruck des reaktiven Gases, bei der Targetspannung oder bei der Abscheiderate. Das führt zu Schwankungen in der Schichtqualität und erhöhtem Ausschuss.

Feedback-Regelung mit Speedflo und Optix

Eine stabile Prozessführung wird durch Feedback-Control-Systeme möglich.

• Speedflo von Gencoa sorgt dafür, dass der reaktive Prozess stabil bleibt und Abweichungen in der Produktion minimiert werden.

• Optix dient als präziser Sensor: Das optische Emissionsspektrometer analysiert das Plasmalicht in Echtzeit und liefert verlässliche Signale für die Regelung.

Vorteile von Optix im Überblick

• Echtzeitüberwachung mit Reaktionszeiten im Millisekundenbereich

• Gleichzeitige Erfassung von bis zu 20 Gasen

• Weiter Druckbereich – zusätzliche Differenzpumpen sind nicht erforderlich

• Robust, langlebig und kosteneffizient im Vergleich zu Restgasanalysatoren (RGA)

  
  

Damit erreichen Beschichter ein neues Niveau an Prozesssicherheit und Reproduzierbarkeit.

Beispiel aus der Praxis: Zusammenarbeit mit PVT

In enger Kooperation mit PVT Plasma- und Vakuumtechnik GmbH, AVALUXE International GmbH und Gencoa Ltd. wurde Speedflo und Optix erfolgreich in eine In-Line-Anlage integriert. Unter der Leitung von unserem Projektingenieur Anas Ghailane erfolgte die technische Implementierung und Anpassung an die spezifischen Anforderungen.

PVT ist zugleich ein Beispiel für die Vielseitigkeit moderner PVD-Anlagen: Neben klassischen Beschichtungen engagiert sich das Unternehmen auch in der H₂-Technologie, wo beschichtete Komponenten für Brennstoffzellen und Elektrolyseure zum Einsatz kommen.

Mehrwert für die Beschichtungsindustrie

Die Integration von Speedflo und Optix zeigt klare Vorteile für Anlagenbetreiber und Beschichtungsdienstleister:

• Höhere Prozessstabilität reduziert Ausschuss und Nacharbeit

• Reproduzierbare Ergebnisse steigern Effizienz und Produktivität

• Sichere Produktion auch bei großtechnischen Anwendungen

• Zukunftssicherheit durch modernste Messtechnik

Fazit: Prozesskontrolle als Schlüssel zur Industrialisierung

Die Case Study verdeutlicht: Prozesskontrolle ist kein Nebenthema, sondern der Schlüssel für die erfolgreiche Industrialisierung innovativer PVD-Verfahren. Mit Lösungen wie Speedflo und Optix können Unternehmen nicht nur Qualität sichern, sondern auch ihre Produktion zukunftsfähig gestalten – ob in klassischen Beschichtungsanwendungen oder neuen Feldern wie der H₂-Technologie.

Wenn Sie weitere Fragen zu Optix und Speedflo haben, senden Sie bitte eine Email an: tvartiainen@avaluxe.de