Optimierung von AlTiN und AlCrN Beschichtungen mittels Multikathodenkonfiguration

Multikathodenkonfigurationen werden immer beliebter und finden bei Forschern und Prozeßingenieuren, die im Bereich der Hochleistungsimpuls-Magnetronzerstäubung (HiPIMS) in der PVD-Beschichtungsindustrie tätig sind, zunehmend Beachtung.

in courtesy of Gencoa Ltd.

Der sequentielle Betrieb von vier oder sechs Kathoden (zwei sind mindestens notwendig) führt zu einer deutlichen Verbesserung der Qualität der abgeschiedenen Verbundschichten, insbesondere von AlTiN oder AlCrN.