Optimierung von AlTiN und AlCrN Beschichtungen mittels Multikathodenkonfiguration
Multikathodenkonfigurationen werden immer beliebter und finden bei Forschern und Prozeßingenieuren, die im Bereich der Hochleistungsimpuls-Magnetronzerstäubung (HiPIMS) in der PVD-Beschichtungsindustrie tätig sind, zunehmend Beachtung.

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Der sequentielle Betrieb von vier oder sechs Kathoden (zwei sind mindestens notwendig) führt zu einer deutlichen Verbesserung der Qualität der abgeschiedenen Verbundschichten, insbesondere von AlTiN oder AlCrN.
