RGA OPTIX 14 Tage kostenlos testen

Der Optix Gassensor ist das perfekte System zur Gasüberwachung. Weiterer Vorteil: Seine robuste Konstruktion vereinfacht die Charakterisierung von schwierig zu überwachenden Prozessen wie PECVD, ALD oder Ätzen.

Magnetrons

Planar, Circular, Rotatable: Als fest etablierter und renommierter Hersteller von Magnetrons ist Gencoa die erste Wahl, wenn es um professionelle Beschichtungen geht. Speziell im Bereich des magnetischen Designs von Kathoden punktet Gencoa mit Expertise, um Ihren Beschichtungen die bestmögliche Qualität zu liefern.

ARC Kathoden

Neu im Produktsortiment ist die Gencoa Arc MAX Reihe. Ein Zusammenspiel aus Arc-Kathode und magnetischem Sweep Controller. Die Innovation: Die Plasmazündung wird nicht wie üblich mechanisch angeregt, das Arc-Plasma sehr fein gestreut, um kleinere Droplet-Partikel zu erzielen.

Active Anode

Gencoa hat eine revolutionäre Anode entwickelt und patentiert, um die Führung von Elektronen bei Rotatable Magnetron Prozessen zu optimieren. Die Active Anode bietet Vorteile für jeden Prozess, von besserer Schichtqualität bis zu geringerem Wärmeeintrag auf dem Substrat.

Ionenquellen

Ionenquellen, oder Plasma-Pretreater, können Ihnen für fast alle Arten von Substraten Vorteile liefern: Verbesserte Schichtdichte, Schichtqualität und Adhäsion. PECVD Prozesse lassen sich mit diesen Quellen ebenfalls unterstützen.

Improve your process

Speedflo

Perfektionieren Sie Ihre reaktiven Prozesse mit Speedflo – dem Gasflusscontroller, der Abscheiderate, Beschichtungseigenschaften und die gesamte Zuverlässigkeit Ihrer Prozesse verbessert. Speedflo hat sich in Kombination mit verschiedensten Beschichtungsmaschinen bewährt und immer hervorragende Ergebnisse geliefert.

Ihr Ansprechpartner

Sie interessieren sich für unsere Magnetrons oder die neuartigen Prozesssteuerungsgeräte von Gencoa? Wir freuen uns auf Ihren Kontakt über das folgende Formular, per Mail an gencoa@avaluxe.de oder ganz klassisch am Telefon!

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